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Bruker白光干涉儀的原理和八大特點(diǎn)

瀏覽次數(shù):2646發(fā)布日期:2020-12-11
  Bruker白光干涉儀是用于對各種精密器件表面進(jìn)行納米級測量的儀器,可測各類從超光滑到粗糙、低反射率到高反射率的物體表面,從納米到微米級別工件的粗糙度、平整度、微觀幾何輪廓、曲率等。
  Bruker白光干涉儀光源發(fā)出的光經(jīng)過擴(kuò)束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,一束經(jīng)被測表面反射回來,另外一束光經(jīng)參考鏡反射,兩束反射光Z終匯聚并發(fā)生干涉,顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
  Bruker白光干涉儀以白光干涉技術(shù)為原理、結(jié)合精密Z向掃描模塊、3D建模算法等對器件表面進(jìn)行非接觸式掃描并建立表面3D圖像,通過系統(tǒng)軟件對器件表面3D圖像進(jìn)行數(shù)據(jù)處理與分析,并獲取反映器件表面質(zhì)量的2D、3D參數(shù),從而實(shí)現(xiàn)器件表面形貌3D測量的光學(xué)檢測儀器。
  Bruker白光干涉儀于非接觸式快速測量,精密零部件之重點(diǎn)部位的表面粗糙度、微小形貌輪廓及尺寸,其測量精度可以達(dá)到納米級!目前,在3D測量領(lǐng)域,白光干涉儀是精度很高的測量儀器之一。
  Bruker白光干涉儀特點(diǎn):
  1、非接觸式測量:避免物件受損。
  2、三維表面測量:表面高度測量范圍為1nm---200μm。
  3、多重視野鏡片:方便物鏡的快速切換。
  4、納米級分辨率:垂直分辨率可以達(dá)0.1nm。
  5、高速數(shù)字信號處理器:實(shí)現(xiàn)測量僅需幾秒鐘。
  6、掃描儀:閉環(huán)控制系統(tǒng)。
  7、工作臺:氣動裝置、抗震、抗壓。
  8、測量軟件:基于windows操作系統(tǒng)的用戶界面,強(qiáng)大而快速的運(yùn)算。
  以上就是Bruker白光干涉儀的原理和特點(diǎn)介紹,供大家參考!
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